1968年臺階儀Dektak Ⅰ面世以來(lái)，迄今已有50多年的發(fā)展歷程。通過(guò)整合技術(shù)，突破創(chuàng )新，Dektak系列臺階儀已經(jīng)來(lái)到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak 產(chǎn)品在過(guò)去五十年不斷的技術(shù)創(chuàng )新，得到眾多使用客戶(hù)的認可。

                  圖1                                                                                         圖2

臺階高度重現性低于 4 Å

       Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀， single-arch 設計及智能電子器件，大大改善了設備穩定性，進(jìn)一步提高防震性能。Dektak XT在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現，臺階高度重復性可低于4Å。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固，降低了對不利環(huán)境條件的敏感性，如聲音和震動(dòng)噪音。

方便的更換探針技術(shù)讓一切變得輕松

        對多用戶(hù)儀器而言，能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak臺階儀的轉接頭和探針通過(guò)強磁吸附進(jìn)行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡(jiǎn)單、方便、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動(dòng)校準，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一技術(shù)讓其他困難并耗時(shí)的任務(wù)變得輕松且快速。為盡量滿(mǎn)足使用的要求，Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶(hù)定制探針規格，包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

圖3

LVDT:主流的微位移傳感技術(shù)廣泛應用于航空航天等領(lǐng)域

      作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理，即Linear Variable Differential Transformer線(xiàn)性可變差動(dòng)變壓器（圖4），其優(yōu)勢包括：無(wú)摩擦測量、延長(cháng)機械壽命、提高分辨率、零位可重復性、軸向、堅固耐用、環(huán)境適應性、輸入/輸出隔離。

圖4

帶機械臂的全自動(dòng)傳片臺階儀

       全自動(dòng)型臺階儀（cassette-to-cassette臺階儀），將Bruker DektakXTL臺階儀系統和機械傳送臂相結合（圖5），實(shí)現了全自動(dòng)上下片，通過(guò)圖形識別等功能實(shí)現自動(dòng)準確定位（樣品定位精度在±5微米），自動(dòng)檢測，數據自動(dòng)輸出和上傳，減少人工成本和人員誤差，可以實(shí)現75mm到300mm晶圓檢測全自動(dòng)化。為半導體行業(yè)在工藝開(kāi)發(fā)，質(zhì)量保證與質(zhì)量控制應用方面進(jìn)行了優(yōu)化。

圖5

       臺階儀主要用于材料表面的2D，3D測量，可以測試臺階高度，表面粗糙度；同時(shí)也適合材料表面溝槽深度的測試；能夠在微電子，半導體及化合物半導體，太陽(yáng)能、超高亮度發(fā)光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、醫學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現納米級表面形貌測量。Dektak臺階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現性和1nm-1mm的測量范圍。

圖6

圖7