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更新時(shí)間：2021-03-02
產(chǎn)品品牌：Semiconsoft
產(chǎn)品型號：MProbe系列
當一束光入射到薄膜表面時(shí)，薄膜上表面和下表面的反射光會(huì )發(fā)生干涉，干涉的發(fā)生與薄膜厚度及光學(xué)常數等有關(guān)，反射光譜薄膜測厚儀就是基于此原理來(lái)測量薄膜厚度。
反射膜厚儀是一種非接觸式、無(wú)損的、快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù)。
測量范圍: 1 nm - 1 mm
波長(cháng)范圍: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2um -3 um
標準配置中包含：
1. 主機(光譜儀，光源，電線(xiàn))
2. 反射光纖
3. 樣品臺及光纖適配器
4. TFCompanion軟件
5. 校準套裝
6. 測試樣品，200nm晶圓
廣泛的應用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監控中：
半導體晶圓，薄膜太陽(yáng)能電池，液晶平板，觸摸屛，光學(xué)鍍膜，聚合物薄膜等
半導體制造：· 光刻膠 · 氧化物 · 氮化物
光學(xué)鍍膜：· 硬涂層 · 抗反射涂層 · 濾波片
生物醫學(xué)：· 生物膜厚度 · 硝化纖維
電話(huà)：86-021-37018108
傳真：86-021-57656381
郵箱：info@boyuesh.com
地址：上海市松江區莘磚公路518號松江高科技園區28幢301室
